數字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX

暢銷型號：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。

國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

數字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX

一、產品概述：

SEC-Z512屬于SEC-500X系列，高性能數字式質量流量控制器多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，國內多回收、二次銷售，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

二、產品特點：

1)多種氣體及多種流量范圍，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量，現場設定；

2)超高精度：±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.)；

3)快速響應：<1秒(全量程范圍內，任意設置點)；

4)非常方便的現場設置操作；

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存；

6)與現有模擬式質量流量控制器兼容；

7)模擬通信與數字通信(DeviceNet)可同時進行；

8)氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm~50slpm F.S.類型)；SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100~200slpm F.S.類型)。

數字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX

三、SEC-Z512產品參數：

本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質量流量計、質量流量控制器、數字式質量流量控制器、耐腐蝕質量流量控制器。

進口數字型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。

進口低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進口低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V，kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S，omega FMA1815S。

國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32。

國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件：韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN，美國Valex不銹鋼管，1/4"EP級不銹鋼管、3/8"EP級不銹鋼管、1/2"EP級不銹鋼管。