horiba高精度氣體質量流量計Z512$n$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

數字式氣體質量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

horiba高精度氣體質量流量計SEC-Z514MGX/Z524MGX$n小量程0-2sccm，大量程0-50SLM$n高精度：1.0% S.P. (25-100% F.S.);0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n數字通訊：DeviceNet

horiba高品質數字式質量流量計SEC-Z512、Z522、Z524多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

Horiba質量流量控制器SEC-N100系列特點：$n1、直接測量管道內流體的質量流量$n2、工作穩定可靠$n3、適應的流體介質面寬$n4、廣泛的應用環境$n5、多種實時在線測控功能$n6、可擴展性好

Horiba質量流量計 SEC-E40V SEC-E40V是國產化的SEC-E40, 進口核心部件，國內組裝 具備自動調零功能 高精度 高速響應 配備應對各種用途的機型

氣體質量流量計SEC-Z512MGX 1SLM 4CRL，是horiba SEC-Z512的暢銷型號，多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中。 我公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-514MGX、SEC-Z522MGXN、SEC-Z522MGXN，保修期1年。

horiba IGS氣體質量流量計Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542$n小量程0-20sccm，大量程0-200SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號輸出：0-5VDC，可選數字通訊RS485 F-Net協議