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更新日期：2025-02-25簡要描述：Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計， 量程100g/min, 精度1%。適應于低沸點液體、高粘度液體。微小液體質量流量控制器LV-F控制液體流量，液體質量流量計LF-F測量液體流量。暢銷型號：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A
Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計
量程100g/min,精度1%
暢銷型號：LV-F60PO、LV-F60MO、LV-F40PO、LV-F40MO、LV-F50MO、LV-F30MO、LF-F60M-A、LF-F50M-A、LF-F40M-A、LF-F30M-A、LF-F20M-A。
Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F，屬于在線流量計，用于測量管路流量。
Horiba 微小液體質量流量器LV-F60MO流量計用于控制液體流量，LF-F液體質量流量控制器、LV-F液體質量流量計采用波爾貼原理冷卻液體，而非常見的熱交換方法。該技術消除了低沸點液體沸騰的風險，實現更低沸點液體的安全控制。
通過采用數字回路，實現了高精度?高速響應。
可以進行微升以上的微小流量控制。
可以對低沸點液體、高粘度液體進行精密的流體控制。
超潔凈EP級
選型要求：按以下規格確認型號，并請提供參數：介質名稱、量程、接口尺寸。
名稱 | 液體質量流量控制器 | ||||
型號 | LV-F20PO/LV-F20MO | LV-F30PO /LV-F30MO | LV-F40PO /LV-F40MO | LV-F50PO /LV-F50MO | LV-F60PO /LV-F60MO |
全標度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
標準接頭 | 1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR | 1/8"卡套，1/8"VCR | 1/4"卡套，1/4"VCR | ||
檢測控制范圍 | 5?100% F.S. | ||||
對象液體種類*1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度*2 | max值. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應精度 | 3秒以內(T98) | 2秒以內(T98) | |||
使用環境溫度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ max值±1% | ||||
工作差壓值*5 | 0.05?0.3MPa | ||||
耐壓 | 1MPa | ||||
壓力損失 | ー | ||||
流量設定信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
流量輸出信號 | 模擬：0?5 VDC(min負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏率 | PO類型：1×10-8Pa•m3/s (He) , MO類型：5×10-12Pa•m3/s (He). | ||||
接液部材質 | PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO類型：SUS316L，Ni | ||||
名稱 | 液體質量流量計（不帶控制） | ||||
型號 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全標度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測控制范圍 | 5?100% F.S. | ||||
對象液體種類*1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度*2 | max值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應精度 | 3秒以內(T98) | 2秒以內(T98) | |||
使用環境溫度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ max值±1% | ||||
工作差壓值值 | max值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥) | ||||
耐壓 | 1MPa (視為流量計) | ||||
壓力損失 | max值. 500Pa | ||||
流量設定信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
流量輸出信號 | 模擬：0?5 VDC(min負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||
驅動電源 | +15 V ±5%, 200 mA； -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏規格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材質 | SUS316L, Ni | ||||
標準接頭 | 1/16"，1/8"卡套； 1/8"VCR | 1/8"卡套； 1/8"VCR | 1/4"卡套， 1/4"VCR | ||
*1：LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預先確定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發生變化時，請預先進行咨詢協商。
?LV-F系列質量流量控制器如果在所測液體中含有粒子等時，請在入口端安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以用于粘度值 max 0.1Pa•s。有關高粘度的液體請預先進行咨詢協商。
*3： 以SEMI E56-1296為準。
*4： 進行測量/控制時，如果液體溫度低于環境溫度，請把溫差控制在10℃以 內；如果液體溫度高于高于環境溫度，請把溫差控制在3℃以內。
冷卻測量方法
Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F的流量傳感器由與毛細管接觸的電子冷卻元件（珀爾帖元件）以及幾個溫度檢測元件組成。當液體流動時，傳感器檢測對應流量的溫升（ΔT），并以流量顯示。與熱交換不同，這種冷卻方法能夠測量低沸點液體的流量。此外，該方法還能防止由于二次排放（汽化）的影響而產生的干擾問題，使精確的流量測量成為可能。
測量原理
Horiba微小液體質量流量控制器LV-F、液體質量流量計LF-F采用相同的測量原理。液體質量流量器LV-F60MO還配備一個壓電閥和一個內部比較控制回路。對流量設定信號和流量輸出信號進行比較，并自動控制閥門孔徑，使兩個信號匹配以控制液體。由于采用了反饋控制系統，不會因外部因素而導致流量變化，因此確保了穩定和精確的控制。
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