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    horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX

    • 產品型號:
    • 更新日期:2025-03-02

    簡要描述:horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX

    小量程0-100SLM,大量程0-500SLM
    高精度:2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.)
    模擬信號輸出:0-5VDC,可選數字通訊RS485 F-Net協議

    產品詳情

    horiba氣體質量流量計SEC-Z552MGX/Z562MGX

    高精度,量程0-200SLM、0-500SLM

    horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX屬于大流量質量流量控制器,又稱氣體質量流量控制器,簡稱MFC

    SEC-Z552的量程有0-300SLM,

    SEC-Z562的量程時0-500SLM。


    氣體質量流量控制器的功能:控制管路中的流量達到期望的設定值,同時反饋實際的流量信號到上位機。


    horiba高精度氣體質量流量計Z552MGX/Z562MGX是一款高穩定性、高精度的MFC用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中。


    公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等,


    產品參數

    horiba高精度氣體質量流量計Z552/Z562MGX





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