horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542

量程0-20SLM、0-200SLM，RS485通訊/0-5VDC

暢銷型號：SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內組裝模擬型：Horiba S48 28、horiba S48 32、S300

國內組裝數字型：S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212

產品介紹：

氣體質量流量計又稱氣體質量流量控制器，簡稱MFC。

主要功能是：控制器管路中的流量達到期望的設定值，同時反饋實際的流量信號到上位機。

大流量Horiba氣體質量流量計SEC-Z512是一款高穩定性、高精度的MFC，用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，國內多回收、二次銷售。

我公司提供進口SEC-Z512MGX、SEC-Z522MGX、SEC-Z532MGX、SEC-Z542MGX等，保證全新進口，終身維修。

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質量流量計Z522/Z532/Z542產品特點：

1)多種氣體及多種流量范圍，可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量，現場設定；

2)超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)；

3)快速響應：<1秒(全量程范圍內，任意設置點)；

4)非常方便的現場設置操作；

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器，可以zui大限度地減少庫存；

6)與現有模擬式質量流量控制器兼容；

7)可選其他數字通訊：DeviceNet、EtherCAT、CC-Link、模擬信號。

產品參數：

*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。

*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標準。精度是聯合全范圍MR以及MG數字值。

*3IGS: 完整氣體系統。

*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)

訂購注意：

請提供產品的介質名稱、氣體量程、接口尺寸。

如是設備備件的更換，請提供原產品的背面圖片和側面圖片、頂部圖片。